このガイドラインには、クリーンルームおよび関連する管理環境の空気清浄度の分類が数学的、表形式、およびグラフ形式で記載されています。
このガイドラインは、清潔な作業場における浮遊粒子の最大濃度のみを対象としています。
DIN EN ISO 14644 による分類に従って、指定されたサイズ範囲 0.1 μm および 5 μm 内の粒子のみが考慮されます。
このガイドラインは、浮遊粒子の物理的、化学的、放射線学的、または生存可能な性質を特徴付けるために使用することはできません。
VDI 2083 Blatt 1-2005 規範的参照
DIN EN ISO 14644-1:1999 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 1: 空気清浄度の分類 (ISO 14644-1:1999)、ドイツ語版 EN ISO 14644-1:1999
DIN EN ISO 14644-2:2001 クリーンルームおよび関連する制御環境 パート 2: ISO 14644-1 (ISO 14644-2:2000) ドイツ語版 EN ISO 14644-2:2000 への準拠を実証するテストおよび監視仕様