VDI 2083 Blatt 13.2-2009
クリーンルーム技術 超純水の品質、生産、流通 マイクロエレクトロニクスおよびその他の技術応用
- 規格番号
- VDI 2083 Blatt 13.2-2009
- 制定年
- 2009
- 出版団体
- Association of German Mechanical Engineers
- 最新版
- VDI 2083 Blatt 13.2-2009
- 交換する
- VDI 2083 Blatt 13.2-2008
VDI 2083 Blatt 13.2-2009 規範的参照
- DIN 10192-1:1984
- DIN 11850:1999 食品・化学・製薬工業用パイプ ステンレス鋼管 寸法・材質
- DIN 11864-1:2006 滅菌、化学、製薬産業用ステンレス鋼管継手パート 1: 滅菌ねじ込み管継手、標準タイプ
- DIN 1301-1:2002 単位.単位の名称と記号
- DIN 1314:1977 圧力、基本定義、単位
- DIN 19645:2006 スイミングプールおよび風呂水処理プラントからのろ過された逆洗廃水の処理
- DIN 32676:2001 ケータリング・化学・製薬業界向け配管継手 ステンレス鋼製パイプクランプ接続 溶接式
- DIN 32736:2000 ビル管理サービスの定義と範囲
- DIN 38404-10:1995 水、廃水および汚泥のドイツの標準検査方法 物理的および物理化学的特性パラメーター (グループ C) パート 10: 水の炭酸カルシウム飽和度 (C 10)
- DIN 38404-3:2005 水、廃水、汚泥の検査のためのドイツの標準方法 物理的および物理化学的パラメーター (グループ C) パート 3: 紫外領域のスペクトル吸収、スペクトル吸収係数の測定 (C 3)
- DIN 38409-6:1986 水、廃水、汚泥を検査するためのドイツの標準方法 影響と物質の累積指数 (グループ H) 水の硬度 (H6)
- DIN 38409-7:2005 水、廃水および汚泥のドイツの標準検査方法 物質の影響およびパラメトリック特性 (グループ H) パート 7: pH の測定 (H7)
VDI 2083 Blatt 13.2-2009 発売履歴
- 2009 VDI 2083 Blatt 13.2-2009 クリーンルーム技術 超純水の品質、生産、流通 マイクロエレクトロニクスおよびその他の技術応用
- 2008 VDI 2083 Blatt 13.2-2008 Reinraumtechnik - Qualitaet@ Erzeugung und Vertailung von Reinstwasser - Mikroelektronik und andere technische Anwendungen
