NFPA 318-2012
半導体製造装置保護基準 発効日: 2011-06-20

規格番号

NFPA 318-2012

制定年

2012

出版団体

National Fire Protection Association (NFPA)

状態

撤回

に置き換えられる

NFPA 318-2015

最新版

NFPA 318-2022

NFPA 318-2012 発売履歴

• 1970 NFPA 318-2022
• 2015 NFPA 318-2015 半導体製造設備保護基準（発効日：2014年5月19日）
• 2012 NFPA 318-2012 半導体製造装置保護基準 発効日: 2011-06-20
• 2009 NFPA 318-2009 半導体製造設備保護基準発効日: 2008 年 10 月 10 日
• 2005 NFPA 318-2005 半導体製造設備保護基準 2006 年版