BS ISO 24236:2005
表面化学分析、オージェ電子分光法、強度スケールの再現性と一貫性

規格番号

BS ISO 24236:2005

制定年

2005

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS ISO 24236:2005

交換する

04/30109364 DC:2004

範囲

ISO 24236:2005 では、2 keV 以上のビームエネルギーの電子銃を使用して、一般分析目的でオージェ電子分光計の強度スケールの恒常性と再現性を評価する方法を指定しています。 スパッタ洗浄用のイオンガンを組み込んだ機器にのみ適用されます。 強度/エネルギー応答関数の校正を目的としたものではありません。 この校正は、機器の製造元または他の組織によって行われる場合があります。 この手順は、機器の使用状況に応じて強度/エネルギー応答関数が一定に保たれる精度を評価および確認するためのデータを提供します。 この恒常性に影響を与える可能性のあるいくつかの機器設定についてのガイダンスが提供されます。

BS ISO 24236:2005 発売履歴

• 2005 BS ISO 24236:2005 表面化学分析、オージェ電子分光法、強度スケールの再現性と一貫性