EN 62047-12:2011
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 12: 微小電気機械システム (MEMS) の構造共振を使用した薄膜材料の曲げ疲労試験方法。

規格番号
EN 62047-12:2011
制定年
2011
出版団体
European Committee for Electrotechnical Standardization(CENELEC)
最新版
EN 62047-12:2011

EN 62047-12:2011 発売履歴

  • 2011 EN 62047-12:2011 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 12: 微小電気機械システム (MEMS) の構造共振を使用した薄膜材料の曲げ疲労試験方法。



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