IEC 62047-12:2011
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、第12回：MEMS構造共振を利用した薄膜材料の曲げ疲労試験方法
- 規格番号
- IEC 62047-12:2011
- 制定年
- 2011
- 出版団体
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- 最新版
- IEC 62047-12:2011
- 交換する
- IEC 47F/80/FDIS:2011
IEC 62047-12:2011 発売履歴
- 2011 IEC 62047-12:2011 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、第12回：MEMS構造共振を利用した薄膜材料の曲げ疲労試験方法
