ISO 14701:2011
表面化学分析、X 線光電子分光法、二酸化ケイ素の厚さの測定。

規格番号
ISO 14701:2011
制定年
2011
出版団体
International Organization for Standardization (ISO)
状態
に置き換えられる
ISO 14701:2018
最新版
ISO 14701:2018

ISO 14701:2011 発売履歴

  • 2018 ISO 14701:2018 表面化学分析 - X線光電子分光法 - シリコン酸化膜厚測定
  • 2011 ISO 14701:2011 表面化学分析、X 線光電子分光法、二酸化ケイ素の厚さの測定。
表面化学分析、X 線光電子分光法、二酸化ケイ素の厚さの測定。



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