BS EN 60204-33:2011
機械の安全性 機械の電気設備 半導体製造装置の要求事項
- 規格番号
- BS EN 60204-33:2011
- 制定年
- 2011
- 出版団体
- British Standards Institution (BSI)
- 最新版
- BS EN 60204-33:2011
- に置き換えられる
- GMKOREA EDS-T-7699-2011
- 範囲
- IEC 60204 のこの部分は、半導体の製造、測定、組み立て、テストのための半導体製造装置に関連する電気および電子機器に適用されます。 注 1 この規格では、電気という用語には、電気、電子、およびプログラム可能な電子事項が含まれます (つまり、電気機器とは、電気、電子、およびプログラム可能な電子機器を意味します)。 注 2 この規格の文脈において、「人」という用語はあらゆる個人を指し、問題の製造装置の設置、使用、および手入れにおいてユーザーまたはその代理人によって割り当てられ、指示される人が含まれます。 この規格の対象となる電気機器は、電気機器への電源の接続点から始まり (5.1 を参照)、安全に設置するための適切な指示が含まれます。 注 3 建物内の電源設置の要件については、IEC 60364 シリーズを参照してください。 この部品は、交流 (AC) の場合は 1 000 V を超えず、直流 (DC) の場合は 1 500 V を超えない公称供給電圧で動作し、公称供給周波数では動作しない電気機器または電気機器の一部に適用されます。 200Hzを超える。 より高い電圧または周波数の場合は、特別な要件が必要になる場合があります。 注 4 導出電圧がこれらの供給電圧制限を超える電気機器は、この規格の範囲内にあります。 電気的安全上の危険に対する保護措置と、非電気的な危険から保護する電気的インターロック回路の要件が含まれています。 ただし、電気的危険以外の危険（化学的危険、機械的危険、放射線の危険など）から人を守るために他の規格や規制で必要とされる、または要求されるすべての要件を網羅しているわけではありません。 適切な安全性を提供するために、各タイプの機械に対応する必要がある独自の要件があります。 追加の特別な要件が、次のような製造装置の電気機器に適用される場合があります。 • 爆発性および/または可燃性の雰囲気で使用される。 • 特定の材料を製造または使用する場合に特別なリスクがある。 • 巻上機 (IEC 60204-32 の対象となる)。 この規格には、製造装置の性能や機能特性に関する仕様は含まれていません。 この規格は、製造装置からの放出（EMF、ノイズなど）によって生じる可能性のある人間の健康への影響については扱っていません。 この規格は、電磁適合性 (EMC) に関する要件を指定していません。
BS EN 60204-33:2011 規範的参照
BS EN 60204-33:2011 発売履歴
- 2011 BS EN 60204-33:2011 機械の安全性 機械の電気設備 半導体製造装置の要求事項
BS EN 60204-33:2011 機械の安全性 機械の電気設備 半導体製造装置の要求事項 は GMKOREA EDS-T-7699-2011 織編物のピリング試験方法（ICI型試験機法） に変更されます。
