ANSI/ASME B89.1.8-2011
変位測定用レーザー干渉計の性能評価

規格番号
ANSI/ASME B89.1.8-2011
制定年
2011
出版団体
American National Standards Institute （ANSI)
最新版
ANSI/ASME B89.1.8-2011
範囲
この規格は、レーザー干渉計の仕様、評価、セットアップ、および使用に関する要件と方法を確立します。 この規格では、シングルパス光学系と直線変位測定の単一軸のみについて明示的に議論します。 この規格は現在、イオン化ガスレーザー干渉計システムに限定されています。 このバージョンのレーザー規格では、単色のレーザーのみが考慮されます。 単一カラーには、ホモダイン システムとヘテロダイン システム (付録 E を参照) の両方が含まれます。 これらのシステムでは、動作周波数はすべて、1 つの特定の原子遷移またはゼーマン多重項に関連付けられたドップラー拡張周波数帯域内にあります。 ダイオード レーザー システム、チャープ システム、および 2 色干渉計がこの規格の将来のバージョンに含まれる可能性があります。 この規格の折り返し共通経路比較技術を使用して、上記のシステムのいずれかを標準の He-Ne レーザー干渉計と比較できることに注意してください。

ANSI/ASME B89.1.8-2011 発売履歴



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