ASTM E1603/E1603M-11
フード質量分析計リークディテクターまたは残留ガス分析装置を使用したリーク検出測定の標準テスト方法

規格番号
ASTM E1603/E1603M-11
制定年
2011
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
状態
に置き換えられる
ASTM E1603/E1603M-11(2017)
最新版
ASTM E1603/E1603M-11(2022)
範囲
試験方法 A8212;この試験方法は、コンポーネントのリーク試験で最も頻繁に使用されます。 コンポーネントのテストは標準リークと関連付けられ、実際のリーク率が測定されます。 許容はシステムの最大許容漏れに基づいています。 ほとんどの製造ニーズの場合、合格は、確立された漏れ率未満の部品の漏れの合格に基づいており、これにより、コンポーネントの予測寿命にわたって安全な性能が保証されます。 大規模システムは、テストボリューム上の代表的な場所にある標準リークを使用して校正されるように注意する必要があります。 体積が大きくなる傾向があり (>1 m3)、低コンダクタンス経路が含まれることが多いため、システム感度だけでなく応答時間もチェックする必要があります。 試験方法 B8212;この試験方法は、新しいシステムの最終試験のステップとして、または製造、環境試験、または部品の調整に使用される装置のメンテナンスの実施として真空システムを試験するために使用されます。 テスト方法 A と同様、大量の場合は応答時間とシステム感度チェックが必要になる場合があります。 試験方法 C8212;この試験方法は、LD を高真空ポンプの出口に接続する便利な方法がない場合にのみ使用されます。 ヘリウム LD が使用され、高真空ポンプがイオン ポンプまたはクライオポンプである場合、これらのポンプでは高真空チャンバー内に比較的高い割合のヘリウムが残るため、リーク テストは粗引きサイクル中に行うのが最適です。 これにより、得られる最大感度が制限されます。 1.1 この実践では、1× の割合で漏れるガスの発生源をテストする手順を取り上げます。 10&#−8 Pa m3/s (0&#°C で 1 &#× 10−9 標準-cm3/s) 以上。 これらの試験方法は、真空にすることができ、その反対側にヘリウムまたは他のトレーサガスを適用できる任意の物体に対して実行できます。 物体は構造的に 0.1 Pa (約 10-3 torr) の圧力まで排気できなければなりません。 1.2 3 つのテスト方法について説明します。 1.2.1 試験方法 A8212;真空排気は可能だが、固有のポンプ能力を持たない試験対象物体用。 1.2.2 試験方法 B8212; 一体型ポンプ機能を備えた試験対象物用。 1.2.3 試験方法 C8212; 試験方法 B と同様の試験対象物用。 試験対象物の真空ポンプがリーク検出器 (LD) で通常使用されるポンプの代わりに使用されます。 1.3 単位 8212;SI 単位または std-cc/sec 単位で記載された値は、標準として個別にみなされるものとします。 各システムに記載されている値は完全に同等ではない可能性があるため、各システムは互いに独立して使用する必要があります。 2 つのシステムの値を組み合わせると、規格に準拠しない可能性があります。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E1603/E1603M-11 発売履歴

  • 2022 ASTM E1603/E1603M-11(2022) 質量分析リーク検出器またはフードモードの残留ガス分析装置を使用したリーク測定の標準的な方法
  • 2017 ASTM E1603/E1603M-11(2017) 質量分析リーク検出器または残留ガス分析装置を使用したリーク測定の標準的な手法
  • 2011 ASTM E1603/E1603M-11 フード質量分析計リークディテクターまたは残留ガス分析装置を使用したリーク検出測定の標準テスト方法
  • 1999 ASTM E1603-99(2006) フード質量分析計リークディテクターまたは残留ガス分析装置を使用したリーク検出測定の標準テスト方法
  • 1999 ASTM E1603-99 フード質量分析計リークディテクターまたは残留ガス分析装置を使用したリーク検出測定の標準テスト方法


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