ASTM F1513-99(2011)
電子薄膜用純アルミニウム（非合金）材料の標準仕様

規格番号

ASTM F1513-99(2011)

制定年

1999

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F1513-99(2011)

範囲

1.1 この仕様は、蒸発源およびスパッタリングターゲットに使用される純アルミニウム金属 (非合金) を対象としています。 この材料は電子用途の原材料として使用されます。 この材料は、場合によっては供給されたままの状態で使用されます (電子ビーム蒸発源など)。 他の場合には、購入者によって再溶解、合金化、鋳造、加工されて最終製品 (スパッタリング ターゲットなど) が作成される場合もあります。 1.2 この仕様は、純度グレードレベル、物理的特性、分析方法、および包装を設定します。 1.3 SI 単位で記載された値は標準とみなされます。 この規格には他の測定単位は含まれません。

ASTM F1513-99(2011) 規範的参照

• ASTM D1971 火炎原子吸光法、グラファイト炉原子吸光法、プラズマ発光分析法、またはプラズマ質量分析法による金属の水温蒸解の標準的な手法*， 2002-03-10 更新するには

ASTM F1513-99(2011) 発売履歴

• 1999 ASTM F1513-99(2011) 電子薄膜用純アルミニウム（非合金）材料の標準仕様
• 1999 ASTM F1513-99(2003) 電子薄膜デバイス用純アルミニウム（非合金）原料の標準規格
• 1999 ASTM F1513-99 電子薄膜デバイス用純アルミニウム（非合金）原料の標準規格