ASTM F1238-95(2011)
マイクロ電子機器用高融点ケイ化物スパッタ電極の標準仕様

規格番号

ASTM F1238-95(2011)

制定年

1995

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F1238-95(2011)

範囲

1.1 この仕様は、金属シリサイド（モリブデンシリサイド、タンタルシリサイド、チタンシリサイド、タングステンシリサイド）から製造されたスパッタリングターゲットを対象としています。 これらのターゲットは耐火性ケイ化物ターゲットと呼ばれ、マイクロエレクトロニクス用途での使用を目的としています。 1.2 SI 単位で記載された値は標準とみなされます。 この規格には他の測定単位は含まれません。

ASTM F1238-95(2011) 発売履歴

• 1995 ASTM F1238-95(2011) マイクロ電子機器用高融点ケイ化物スパッタ電極の標準仕様
• 1995 ASTM F1238-95(2003) マイクロ電子デバイス用の耐火性ケイ化物スパッタリング電極
• 1995 ASTM F1238-95(1999) マイクロ電子機器用高融点ケイ化物スパッタ電極の標準仕様