ISO 24236:2005
表面化学分析、スパイラル電子分光法、強度スケールの再現性と持続性。

規格番号

ISO 24236:2005

制定年

2005

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 24236:2005

範囲

この国際規格は、2 keV 以上のビームエネルギーの電子銃を使用した、一般分析目的のオージェ電子分光計の強度スケールの恒常性と再現性を評価する方法を規定しています。 スパッタ洗浄用のイオンガンを組み込んだ機器にのみ適用されます。 強度/エネルギー応答関数の校正を目的としたものではありません。 この校正は、機器の製造元または他の組織によって行われる場合があります。 この手順は、機器の使用状況に応じて強度/エネルギー応答関数が一定に保たれる精度を評価および確認するためのデータを提供します。 この恒常性に影響を与える可能性のあるいくつかの機器設定についてのガイダンスが提供されます。

ISO 24236:2005 発売履歴

• 2005 ISO 24236:2005 表面化学分析、スパイラル電子分光法、強度スケールの再現性と持続性。