GOST 8.591-2009
測定の均一性を保証する国家システム 台形断面要素のナノメートル振幅減少の測定 校正方法

規格番号

GOST 8.591-2009

制定年

2009

出版団体

RU-GOST R

最新版

GOST 8.591-2009

GOST 8.591-2009 規範的参照

• GOST 12.1.040-1983 労働安全規格制度 レーザーの安全性 概要
• GOST 12.2.061-1981 労働安全基準の体系、産業用機器、作業場の安全に関する一般要件。
• GOST 8.592-2009 均一な測定を保証する国家システム 単結晶シリコンナノメートルの振幅低減測定 形状、線寸法、および製造材料の要件
• GOST ISO 14644-1-2002 クリーンルームおよび関連する管理された環境 空気純度の分類

GOST 8.591-2009 発売履歴

• 2009 GOST 8.591-2009 測定の均一性を保証する国家システム 台形断面要素のナノメートル振幅減少の測定 校正方法