ANSI/UL 2360-2004
半導体デバイスの製造に使用されるプラスチックの可燃性特性を測定するための試験方法

規格番号

ANSI/UL 2360-2004

制定年

2004

出版団体

American National Standards Institute （ANSI)

最新版

ANSI/UL 2360-2004

範囲

これらの要件には、半導体ウェットベンチツールの構造に使用されるシートプラスチックの耐火性能を測定するための試験方法が含まれます。 クラス 1 またはクラス 2 に分類されるプラスチック材料は、スプリンクラーを使用しなくても火災の伝播が限定的であることが実証されています。 テストされる構造や条件が異なると、プラスチックの性能特性が大幅に変化する可能性があります。 この規格は、チューブや配線などの半導体ツール構造に使用される小さなプラスチック部品の評価を目的としたものではありません。

ANSI/UL 2360-2004 発売履歴

• 2004 ANSI/UL 2360-2004 半導体デバイスの製造に使用されるプラスチックの可燃性特性を測定するための試験方法