GB/T 26113-2010
微小電気機械システム (MEMS) テクノロジーの微小幾何学的評価の一般原則 (英語版)

規格番号

GB/T 26113-2010

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2011

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 26113-2010

範囲

この規格は、微小幾何量を評価するための基本原則、評価要素、評価手順、評価方法および評価ルールを規定したものです。 この規格は、MEMS テクノロジーと製品の研究、設計、生産、テストに従事する企業、研究機関、およびテスト機関に適用されます。

GB/T 26113-2010 規範的参照

• GB/T 18779.2 製品幾何学的仕様 (GPS) 測定ワークおよび測定機器の検査 第 2 部: GPS 測定、測定機器の校正および製品検証における測定の不確かさを評価するためのガイドライン*， 2023-03-17 更新するには
• GB/T 26111 微小電気機械システム (MEMS) の専門用語*， 2023-05-23 更新するには
• GB/T 3505 製品幾何学的仕様 (GPS)、表面構造、等高線法、用語、定義および表面構造パラメータ

GB/T 26113-2010 発売履歴

• 2011 GB/T 26113-2010 微小電気機械システム (MEMS) テクノロジーの微小幾何学的評価の一般原則