GB/T 26074-2010
ゲルマニウム単結晶抵抗率直流四探針測定法 (英語版)

規格番号

GB/T 26074-2010

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2011

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 26074-2010

範囲

この規格は、直流四探針法によりゲルマニウム単結晶の比抵抗を測定する方法を規定しています。 この規格は、サンプルの厚さの測定と、サンプルの端からプローブの終点までの最短距離の測定に適用されます。 どちらもプローブ間隔の 4 倍を超えます。 ゲルマニウム単一ウェーハの抵抗率はプローブピッチの 4 分の 1 です。 測定範囲は1×10-3Ω・cm～1×102Ω・cmです。

GB/T 26074-2010 発売履歴

• 2011 GB/T 26074-2010 ゲルマニウム単結晶抵抗率直流四探針測定法