GB/T 26066-2010
シリコンウェーハ上の浅い腐食ピットを検出するための試験方法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 26066-2010
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2011
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 26066-2010
- 範囲
- この規格は、熱酸化および化学優先エッチング技術による、研磨されたウェーハまたはエピタキシャル表面の汚染によって引き起こされる浅い腐食ピットの検査方法を指定します。 この規格は、結晶配向があり、抵抗率が 0.001Ω・cm より大きい、p 型または n 型の研磨ウェハまたはエピタキシャル ウェハのテストに適しています。
GB/T 26066-2010 規範的参照
- GB/T 14264 半導体材料用語
GB/T 26066-2010 発売履歴
- 2011 GB/T 26066-2010 シリコンウェーハ上の浅い腐食ピットを検出するための試験方法
