GB/T 25755-2010
真空技術、スパッタイオンポンプ、性能パラメータの測定 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 25755-2010
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2010
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 25755-2010
- 範囲
- この規格は、スパッタイオンポンプ（以下、イオンポンプ）の性能パラメータの測定方法を規定しています。 この規格は、公称体積流量が 10L/s を超えるイオン ポンプに適用されます。 体積流量1.5×10-3Paから1×10-7Paまでの圧力範囲を測定する規格です。
GB/T 25755-2010 規範的参照
- GB/T 3163 真空技術 用語
GB/T 25755-2010 発売履歴
- 2010 GB/T 25755-2010 真空技術、スパッタイオンポンプ、性能パラメータの測定
