NB/T 47005-2009
プレート式蒸着装置 (英語版)

規格番号

NB/T 47005-2009

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2009

出版団体

Professional Standard - Energy

状態

入れ替わる 2022-02

に置き換えられる

NB/T 47005-2021

最新版

NB/T 47005-2021

範囲

この規格は、蒸着製造プロセスで使用されるプレート蒸着装置に適用されます。 この規格では、デバイスモデルの表現方法、基本パラメータ、技術要件、設置要件、デバッグ方法と受け入れ要件、マーキング、梱包、輸送および保管について規定しています。

NB/T 47005-2009 発売履歴

• 2021 NB/T 47005-2021 プレート式蒸着装置
• 2009 NB/T 47005-2009 プレート式蒸着装置