GOST 26239.6-1984
四塩化ケイ素 ジクロロシラン、トリクロロシラン、四塩化ケイ素、1,3,3,3 四塩化シロキサン、1,3,3,3 四塩化シロキサン、五塩化シロキサン ザコン、六塩化シリカ、ヘキサクロロシランの定量

規格番号

GOST 26239.6-1984

制定年

1984

出版団体

RU-GOST R

最新版

GOST 26239.6-1984

GOST 26239.6-1984 規範的参照

• GOST 18300-1987 工業用純エタノール 仕様*， 1987-03-28 更新するには
• GOST 2603-1979 試薬、アセトン、仕様
• GOST 26239.0-1984 半導体シリコンおよびその初期製品と石英 分析方法
• GOST 9293-1974 気体窒素および液体窒素 仕様

GOST 26239.6-1984 発売履歴

• 1984 GOST 26239.6-1984 四塩化ケイ素 ジクロロシラン、トリクロロシラン、四塩化ケイ素、1,3,3,3 四塩化シロキサン、1,3,3,3 四塩化シロキサン、五塩化シロキサン ザコン、六塩化シリカ、ヘキサクロロシランの定量