NF X21-070*NF ISO 14237:2010
表面化学分析、二次イオン質量分析、均一なドーピング種を使用したシリコン内のホウ素原子濃度の測定。

規格番号

NF X21-070*NF ISO 14237:2010

制定年

2010

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF X21-070*NF ISO 14237:2010

に置き換えられる

GOST 29104.5-1991

NF X21-070*NF ISO 14237:2010 発売履歴

• 2010 NF X21-070*NF ISO 14237:2010 表面化学分析、二次イオン質量分析、均一なドーピング種を使用したシリコン内のホウ素原子濃度の測定。