DIN EN ISO 14644-5:2005
クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 5: 運用
- 規格番号
- DIN EN ISO 14644-5:2005
- 制定年
- 2005
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 状態
- に置き換えられる
- DIN EN ISO 14644-5:2005-03
- 最新版
- DIN EN ISO 14644-5:2005-03
- 交換する
- DIN EN ISO 14644-5:2001
- 範囲
- 国際規格 ISO 14644 のこの部分では、クリーンルームおよび関連する管理された環境を運営し、清浄度のレベルを満たすための基本要件を規定しています。 このクリーンルーム基準は、清浄度のレベルや、望ましいレベルを達成するための方法や手段を指定するものではありません。 ただし、付録にはさらなるガイダンスが記載されています。 クリーンルームの使用・運営を計画されている方を対象としています。 #,,#
DIN EN ISO 14644-5:2005 発売履歴
- 2005 DIN EN ISO 14644-5:2005-03 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 5: 運用
- 2005 DIN EN ISO 14644-5:2005 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 5: 運用
- 1970 DIN EN ISO 14644-5 E:2001-09 クリーンルームおよび関連する管理環境 第 5 部: 運用 (案)
- 0000 DIN EN ISO 14644-5:2001
