BS ISO 14237:2010
表面化学分析、二次イオン質量分析、均一なドーピング種を使用したシリコン内のホウ素原子濃度の測定。
- 規格番号
- BS ISO 14237:2010
- 制定年
- 2010
- 出版団体
- British Standards Institution (BSI)
- 最新版
- BS ISO 14237:2010
- 交換する
- 09/30153670 DC:2009 BS ISO 14237:2000
BS ISO 14237:2010 発売履歴
- 2010 BS ISO 14237:2010 表面化学分析、二次イオン質量分析、均一なドーピング種を使用したシリコン内のホウ素原子濃度の測定。
