ASTM E2734/E2734M-10
ナイフエッジフランジ寸法の標準仕様
- 規格番号
- ASTM E2734/E2734M-10
- 制定年
- 2010
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM E2734/E2734M-10(2018)
- 最新版
- ASTM E2734/E2734M-10(2018)
- 範囲
- 1.1 この規格は、圧力範囲 105 Pa ～ 10-11 Pa の真空システムで使用されるナイフエッジ スタイルのフランジとそれに関連するガスケットの寸法を指定します。 このようなフランジは、半導体処理ツール、表面分析システム、宇宙シミュレーションシステム、および真空を必要とする一般的な研究。 1.2 SI 単位またはインチポンド単位で記載された値は、標準として個別にみなされるものとします。 各システムに記載されている値は、正確に同等ではない場合があります。 したがって、各システムは互いに独立して使用する必要があります。 2 つのシステムの値を組み合わせると、規格に準拠しない可能性があります。 1.3 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM E2734/E2734M-10 規範的参照
- ASTM E673 表面解析に関する標準用語
ASTM E2734/E2734M-10 発売履歴
- 2018 ASTM E2734/E2734M-10(2018) ブレードフランジサイズ標準仕様
- 2010 ASTM E2734/E2734M-10 ナイフエッジフランジ寸法の標準仕様
