BS EN ISO 14644-7:2004
クリーンルームおよび関連する管理された環境 分離装置 (クリーンエアフード、グローブボックス、分離器および微小環境)

規格番号

BS EN ISO 14644-7:2004

制定年

2004

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS EN ISO 14644-7:2004

交換する

01/121101 DC:2001

範囲

ISO 14644-7:2004 は、ISO 14644-4 および 14644-5 に記載されているクリーンルームとは異なる点で、分離装置の設計、建設、設置、試験および承認に関する最小要件を指定します。 ISO 14644-7:2004 の適用では、次の制限が考慮されます。 ユーザー要件は顧客とサプライヤーが合意したとおりです。 アプリケーション固有の要件には対応していません。 分離型デバイスの設置に対応する特定のプロセスは指定されていません。 火災、安全、その他の規制事項は特に考慮されていません。 必要に応じて、国および地方の規制が適用されます。 ISO 14644-7:2004 はフルスーツには適用されません。

BS EN ISO 14644-7:2004 発売履歴

• 2004 BS EN ISO 14644-7:2004 クリーンルームおよび関連する管理された環境 分離装置 (クリーンエアフード、グローブボックス、分離器および微小環境)