YS/T 718-2009
平面マグネトロンスパッタリングターゲット、光学薄膜用ニオブターゲット (英語版)

規格番号

YS/T 718-2009

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2009

出版団体

Professional Standard - Non-ferrous Metal

最新版

YS/T 718-2009

範囲

この規格は、平面マグネトロンスパッタリング光学膜に使用されるニオブターゲットの要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送、保管、注文書（契約）内容を規定しています。 この規格は、平面マグネトロン スパッタリング光学薄膜用のニオブ ターゲットに適用されます。

YS/T 718-2009 規範的参照

• GB/T 15706 機械の安全性 設計の一般原則 リスク評価とリスク軽減*， 2012-11-05 更新するには
• GB/T 2040-2008 銅及び銅合金板
• GB/T 3630-2006 ニオブシート、ストリップおよびホイル
• GB/T 5231-2001 銅及び銅合金の加工化学成分と製品形状
• GB/T 6394-2002 金属の平均粒径の測定方法

YS/T 718-2009 発売履歴

• 2009 YS/T 718-2009 平面マグネトロンスパッタリングターゲット、光学薄膜用ニオブターゲット