ASTM E2695-09
飛行時間型二次イオン質量分析法を使用した質量分析データ取得について説明した標準ガイド

規格番号

ASTM E2695-09

制定年

2009

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM E2695-09

範囲

静的 SIMS 質量スペクトル データの解釈は、取得されるデータの複雑さと密度により複雑になる可能性があるため、ユーザーがデータ解釈の方法に一貫性を持たないと、ばらつきが生じることがよくあります。 このガイドは、最も重要な点について説明することで、これらの不一致を回避するのに役立つことを目的としています。 静的 SIMS 解析で一般的に観察されるシナリオと、これらのシナリオにアプローチする方法。 このガイドは、従業員または学生、またはその両方のためのトレーニング ガイドとして使用できます。 1.1 このガイドは、飛行時間型二次イオン質量分析 (ToF-SIMS) ユーザーに、質量スペクトル データの解釈形式の方法を提供します。 このガイドは、ほとんどの ToF-SIMS 機器に適用できますが、他の形式の二次アイコン質量分析 (SIMS) にも適用できる場合とそうでない場合があります。 1.2 このガイドは、サンプル前処理方法について説明するものではありません。 汚染を最小限に抑え、信号を最適化するために、厳密なサンプル前処理手順を遵守するのはユーザーの責任です。 サンプル調製ガイドラインについては、ガイド E1078 および ISO 18116 を参照してください。 1.3 SI 単位で記載された値は標準とみなされます。 この規格には他の測定単位は含まれません。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E2695-09 規範的参照

• ASTM E1078 表面分析のための試料の準備と設置手順に関する標準ガイド
• ASTM E1504 二次イオン質量分析 (SIMS) 測定における質量分析データを報告するための標準仕様
• ASTM E1635 二次イオン質量分析法 (SIMS) で画像データを報告するための標準的な方法
• ASTM E673 表面解析に関する標準用語
• ISO 18116 表面化学分析 - 分析用試料の準備と組み立てに関するガイドライン
• ISO 23830 表面化学分析 二次イオン質量分析 静的二次イオン質量分析における相対強度範囲の再現性と安定性

ASTM E2695-09 発売履歴

• 2009 ASTM E2695-09 飛行時間型二次イオン質量分析法を使用した質量分析データ取得について説明した標準ガイド