GB/T 24582-2009 (英語版) 酸浸出誘導結合プラズマ質量分析計による多結晶シリコン表面上の金属不純物の測定。規格と仕様

規格番号: GB/T 24582-2009
言語: 中国語版, 英語で利用可能
制定年: 2009
出版団体: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
状態: 入れ替わる 2024-03
に置き換えられる: GB/T 24582-2023
最新版: GB/T 24582-2023

範囲: この規格は、多結晶シリコンブロックの表面から酸により金属不純物を浸出させ、誘導結合プラズマ質量分析計により多結晶シリコン表面の微量金属不純物を定量的に検出する分析方法を規定しています。この規格は、アルカリ金属、アルカリ土類金属、およびナトリウム、カリウム、カルシウム、鉄、ニッケル、銅、亜鉛、アルミニウムなどの他の元素などの最初の一連の遷移元素の検出に適用されます。この規格は、さまざまな棒、ブロック、粒子、およびフレークの表面上の金属汚染物質の検出に適用されます。ブロック、フレーク、顆粒などは形状が不規則であるため、面積を正確に測定することが困難です。したがって、サンプル重量の計算結果より、使用するサンプル重量は 50 g ～ 300 g、検出限界は 0.01 ng/mL となります。酸の濃度、組成、温度、浸出時間によって、表面腐食の深さと表面汚染物質の浸出効果が決まります。この実験方法では、サンプル重量の 1% 未満がエッチングされました。この規格は、重量 25 g ～ 5000 g のサンプルの測定に適用されます。この試験方法では、仲裁の目的を達成するため、サンプルの重量を約300gと規定しています。

GB/T 24582-2009 規範的参照