GB/T 24577-2009
昇温脱離ガスクロマトグラフィーによるシリコンウェーハ表面の有機汚染物質の定量 (英語版)

規格番号

GB/T 24577-2009

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2009

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 24577-2009

範囲

1.1 この規格は、GC-MS またはリン選択検出器、またはその両方を使用した、シリコン ウェーハ表面の有機汚染物質の定性的および定量的方法を指定します。 1.2 この規格は、昇温脱着ガスクロマトグラフ (TD-GC) と、サンプルの調製および分析に関する関連手順について説明しています。 1.3 この標準の検出限界範囲は、検出する有機化合物によって異なります。 たとえば、炭化水素 (C ～ C) の検出範囲は 10 g/cm ～ 10 g/cm です。 1.4 この規格は、研磨されたシリコン ウェーハおよび酸化層のあるシリコン ウェーハに適用されます。 1.5 この規格では 2 つの方法が取り上げられています。 方法 A はスライスされたシリコン ウェーハに適しており、方法 B は無傷のシリコン ウェーハに適しています。 2 つの方法の違いについては、セクション 7 で詳しく説明します。

GB/T 24577-2009 規範的参照

• ASTM D6196 吸収剤の選択および空気中の揮発性有機化合物の抽出サンプリング/加熱脱着分析手順の標準的な手順

GB/T 24577-2009 発売履歴

• 2009 GB/T 24577-2009 昇温脱離ガスクロマトグラフィーによるシリコンウェーハ表面の有機汚染物質の定量