GB/T 4061-2009
シリコン多結晶サンドイッチ断面の化学腐食検査方法 (英語版)

規格番号

GB/T 4061-2009

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2009

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 4061-2009

交換する

GB/T 4061-1983

範囲

この規格は、トリクロロシランおよびテトラクロロシランを原料とし、還元炉で水素還元したシリコン多結晶棒の断面層間化学腐食の試験方法を規定しています。 この規格における断面中間層の検査は、原料としてトリクロロシランおよびテトラクロロシランを使用し、発熱体として薄いシリコンコアを使用し、還元炉内で水素による還元蒸着によって成長させた多結晶シリコンロッドに適用されます。

GB/T 4061-2009 発売履歴

• 2009 GB/T 4061-2009 シリコン多結晶サンドイッチ断面の化学腐食検査方法
• 1983 GB/T 4061-1983 シリコン多結晶サンドイッチ断面の化学腐食検査方法