GB/T 24468-2009
半導体装置の信頼性、可用性、保守性（RAM）の定義と測定仕様 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 24468-2009
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2009
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 24468-2009
- 範囲
- この規格は、半導体製造装置（以下、装置）の信頼性、可用性、保守性（以下、RAM）の性能の測定基準を規定することにより、半導体製造装置（以下、装置）のユーザーと装置供給者との間の通信の共通基盤を確立するものです。 に機器として) 製造環境で。 この規格では設備の 6 つの基本状態を定義しており、すべての設備の状態と段階はこれら 6 つの状態に分類されなければなりません。 デバイスの状態は、誰が機能を実行するかに関係なく、機能によって決まります。 この仕様で言及される機器の信頼性の測定は、機器の故障と機器が経験する合計 (カレンダー) 時間との関係ではなく、主に機器の故障と機器の使用状況との関係に焦点を当てています。 この規格の第 5 章 (デバイスの状態) ではデバイスの時間の分類方法が定義され、第 6 章 (RAM 測定) ではデバイスのパフォーマンスを測定するための式が定義されています。 第 7 章 (不確実性の測定) では、計算されたパフォーマンス量を評価するための統計的方法を説明します。 この標準を効果的に実装するには、デバイスの (RAM) パフォーマンスをデバイスのランタイムとサイクルを通じて追跡できる必要があります。 機器ステータスの自動追跡はこの規格の範囲外であり、SEMI E58 でカバーされています。 ユーザーとサプライヤー間の明確かつ効果的なコミュニケーションにより、機器のパフォーマンスの継続的な向上を促進できます。 この規格の RAM インジケータは、装置全体およびサブシステムのレベルで非クラスター化装置に直接適用でき、マルチチャネルのクラスター化装置のサブシステム (プロセス モジュールなど) のレベルでも使用できます。
GB/T 24468-2009 規範的参照
GB/T 24468-2009 発売履歴
- 2009 GB/T 24468-2009 半導体装置の信頼性、可用性、保守性（RAM）の定義と測定仕様
