JIS B 8328:2009
真空技術、ターボ分子ポンプ、性能特性の測定

規格番号

JIS B 8328:2009

制定年

2009

出版団体

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

最新版

JIS B 8328:2009

範囲

This Standard specifies the measurement methods for performance characteristics of turbomolecular pumps.

JIS B 8328:2009 規範的参照

• JIS Z 8126-2 真空技術、用語集、パート 2: 真空ポンプと関連用語

JIS B 8328:2009 発売履歴

• 2009 JIS B 8328:2009 真空技術、ターボ分子ポンプ、性能特性の測定