JIS C 5630-2:2009
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 2: 薄膜材料の引張試験方法

規格番号

JIS C 5630-2:2009

制定年

2009

出版団体

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

最新版

JIS C 5630-2:2009

JIS C 5630-2:2009 規範的参照

• ISO 6892 金属材料の常温引張試験

JIS C 5630-2:2009 発売履歴

• 2009 JIS C 5630-2:2009 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 2: 薄膜材料の引張試験方法