JACA 45-2007
分子汚染レベルによる表面清浄度の分類と、クリーンルームおよび関連する制御環境におけるその評価方法に関するガイダンス

規格番号

JACA 45-2007

制定年

2007

出版団体

JP-JACA

最新版

JACA 45-2007

JACA 45-2007 発売履歴

• 2007 JACA 45-2007 分子汚染レベルによる表面清浄度の分類と、クリーンルームおよび関連する制御環境におけるその評価方法に関するガイダンス