GB/T 22572-2008
表面化学分析用マルチデルタ層標準物質を使用した深さ分解パラメータの評価方法 二次イオン質量分析法 (英語版)

規格番号

GB/T 22572-2008

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2008

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 22572-2008

範囲

この規格は、SIMS 深さプロファイリングで複数 8 層の基準物質を使用して、先行減衰長、後続減衰長、およびガウス広がりという 3 つの深さ分解能パラメーターを評価する手順を指定します。 試料表面の物理的・化学的状態は一次イオンの影響により不安定であるため、表面付近の8層にはこの規格は適用されません。

GB/T 22572-2008 発売履歴

• 2008 GB/T 22572-2008 表面化学分析用マルチデルタ層標準物質を使用した深さ分解パラメータの評価方法 二次イオン質量分析法