GOST R 8.640-2008
測定の一貫性を確認するための国家システム フォトリソグラフィ技術加工試験用の紫外線測定用放射計 識別方法

規格番号

GOST R 8.640-2008

制定年

2008

出版団体

RU-GOST R

最新版

GOST R 8.640-2008

GOST R 8.640-2008 発売履歴

• 2008 GOST R 8.640-2008 測定の一貫性を確認するための国家システム フォトリソグラフィ技術加工試験用の紫外線測定用放射計 識別方法