EN ISO 14644-1:1999
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 1: 空気清浄度の分類 ISO 14644-1-1999

規格番号

EN ISO 14644-1:1999

制定年

1999

出版団体

European Committee for Standardization (CEN)

状態

撤回

に置き換えられる

EN ISO 14644-1:2015

最新版

EN ISO 14644-1:2015

範囲

ISO 14644 のこの部分では、クリーンルームおよび関連する制御環境における空気清浄度の分類を、浮遊粒子の濃度のみの観点から扱います。 分類目的では、0.1 um から 5 um の範囲の閾値 (下限) サイズに基づく累積分布を持つ粒子集団のみが考慮されます。

EN ISO 14644-1:1999 発売履歴

• 2015 EN ISO 14644-1:2015 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 粒子状物質濃度による空気清浄度の分類
• 1999 EN ISO 14644-1:1999 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 1: 空気清浄度の分類 ISO 14644-1-1999