GB/T 19444-2004
シリコンウェーハの酸素析出特性の測定 - 格子間酸素含有量低減法 (英語版)

規格番号

GB/T 19444-2004

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2004

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 19444-2004

範囲

この規格は、シリコンウェーハ間のギャップ内の酸素含有量の減少を測定することによってシリコンウェーハの酸素析出特性を試験するための方法原理、サンプリング規則、熱処理手順、試験手順、データ計算などを規定しています。 この標準は、集積回路用シリコン ウェーハの格子間酸素析出特性の 2 つ以上のバッチを定性的に比較するために使用されます。

GB/T 19444-2004 発売履歴

• 2004 GB/T 19444-2004 シリコンウェーハの酸素析出特性の測定 - 格子間酸素含有量低減法