ASTM F1404-92(1999)
溶融水酸化カリウムエッチング技術を使用してガリウムヒ素の結晶の完全性をテストするためのテスト方法
- 規格番号
- ASTM F1404-92(1999)
- 制定年
- 1992
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM F1404-92(2007)
- 最新版
- ASTM F1404-92(2007)
- 範囲
- 半導体デバイスに GaAs を使用するには、一貫した原子格子構造が必要です。 ただし、さまざまな種類と量の格子または結晶線欠陥が常に存在し、均一に分布していることはほとんどありません。 エッチピット密度の平均値と空間分布を求めることが重要です。 1.1 この試験方法は、ガリウムヒ素のインゴットまたはウェーハが単結晶であるかどうかを判断し、単結晶である場合はエッチピット密度を測定し、判定するために使用されます。 結晶の欠陥の性質。 可能な限り、シリコンの対応するテスト方法であるテスト方法 F47 に従います。 試験法 F47 には、この試験法に適用できる多くの結晶学的用語の定義も示されています。 1.2 この手順は、エッチピット密度が 0 ～ 200000/cm2 のガリウムヒ素結晶に適しています。 1.3 ドープまたは非ドープのさまざまな電気特性を持つガリウムヒ素は、この試験方法で評価できます。 サンプルの前面法線方向は、+5176 以内で lt;001> に平行でなければならず、研磨またはエッチング、あるいはその両方によって適切に準備されなければなりません。 除去されない処理ダメージはエッチピットを引き起こし、バルク結晶の品質を不明瞭にする可能性があります。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の問題がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。 具体的な危険性に関する記述はセクション 8 に記載されています。
ASTM F1404-92(1999) 規範的参照
- ASTM D1125 水の導電率と抵抗率の標準試験方法*， 1995-04-09 更新するには
- ASTM E177 屋外騒音測定を実施するための測定計画策定のための標準ガイド
- ASTM F26
- ASTM F47
ASTM F1404-92(1999) 発売履歴
- 1992 ASTM F1404-92(2007) 溶融水酸化カリウムエッチング技術を使用してガリウムヒ素の結晶の完全性をテストする標準的なテスト方法
- 1992 ASTM F1404-92(1999) 溶融水酸化カリウムエッチング技術を使用してガリウムヒ素の結晶の完全性をテストするためのテスト方法
