ASTM F1374-92(2005)
IC/GC/FTIR によるガス分配システムコンポーネントの内面からのイオン/有機抽出物の標準試験方法

規格番号

ASTM F1374-92(2005)

制定年

1992

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM F1374-92(2012)

最新版

ASTM F1374-92(2020)

範囲

この試験方法の目的は、高純度ガス供給システムへの設置を検討している電解研磨されたステンレス鋼部品を試験する手順を定義することです。 この試験方法を適用すると、この設置の認定を目的として試験されたコンポーネント間で同等のデータが得られることが期待されます。 イチジク。 １ イオン／有機寄与データテーブルの図。 2 イオン/有機寄与データ表 図 1.1 この試験方法は、超高純度ガス分配システムで使用されるコンポーネントのイオンおよび有機表面残留物を試験する手順を確立します。 1.2 この試験方法は、ガス状のエレクトロニクス グレードの材料を含むインライン コンポーネントに適用されます。 1.3 制限事項: 1.3.1 この試験方法は、検出機器の感度および抽出溶媒の利用可能な純度レベルによって制限されます。 イオンおよびガスクロマトグラフィー法は定量的ですが、フーリエ変換赤外分光法 (FTIR) 法は定性的ツールまたは定量的ツールとして使用できます。 さらに、ガスクロマトグラフィー (GC) および FTIR 法は、部品の内部表面に残留物として残る炭化水素およびハロゲン化物質を検出するために使用されます。 これにより、総炭化水素試験で分析される蒸気圧の高い物質がこの試験方法から除外されます。 1.3.2 この試験方法は、12 か月の経験と同等のレベルで装置の使用を理解しているオペレーターによる使用を目的としています。 1.4 SI単位で記載された値は目安となります。 括弧内のインチポンド単位は情報提供のみを目的としています。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の問題がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。 具体的な危険性に関する記述はセクション 6 に記載されています。

ASTM F1374-92(2005) 発売履歴

• 2020 ASTM F1374-92(2020) 内部表面からのイオン/有機抽出物の標準試験方法 - ガス供給システムコンポーネント用の IC/GC/FTIR
• 1992 ASTM F1374-92(2012) ガス分配システムコンポーネントの内面 - IC/GC/FTIR イオン/有機抽出物の標準試験方法
• 1992 ASTM F1374-92(2005) IC/GC/FTIR によるガス分配システムコンポーネントの内面からのイオン/有機抽出物の標準試験方法
• 1992 ASTM F1374-92(1999) 内部表面からのイオン/有機抽出物の標準試験方法 - ガス供給システムコンポーネント用の IC/GC/FTIR