ASTM E1505-92(1996)
イオン注入外部標準に基づく SIMS の決定における感度係数の標準ガイドライン

規格番号

ASTM E1505-92(1996)

制定年

1992

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM E1505-92(2001)

最新版

ASTM E1505-92(2001)

範囲

1.1 このガイドの目的は、二次イオン質量分析 (SIMS) 分析者に、イオン注入された外部標準から相対感度係数 (RSF) を決定するための 2 つの手順を提供することです。 このガイドは、微量元素 (1 原子%) の RSF を取得するために使用できます。 さらに、このガイドでは、不均一な（横方向または深さのいずれか）標本のインプラントから RSF を取得する手順については説明しません。 1.3 SI 単位で記載された値は標準とみなされます。 1.4 この規格は、すべての試料に対処することを目的とするものではありません。 その使用に関連する安全上の懸念がある場合には、その懸念についても説明します。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E1505-92(1996) 発売履歴

• 1992 ASTM E1505-92(2001) イオン注入外部標準に基づく SIMS の決定における感度係数の標準ガイドライン
• 1992 ASTM E1505-92(1996) イオン注入外部標準に基づく SIMS の決定における感度係数の標準ガイドライン