ASTM F2358-04
サファイア基板の特性測定の標準ガイド

規格番号

ASTM F2358-04

制定年

2004

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

撤回 2011-07

最新版

ASTM F2358-04

範囲

このガイドに記載されている測定値は、サファイア基板の機能に大きな影響を与える可能性があります。 自由状態で過度の形状誤差がある基板は、生産時に加工エラーを引き起こす可能性があります。 基板の拘束状態は、基板がその意図された用途の 1 つで取られる形状をできるだけ正確にシミュレートすることを目的としています。 処理中に、基板の片面が真空または平坦な表面への接着によって強制的に平坦な状態に拘束されることがあります。 クランプ状態での測定は、裏面が基準面に拘束されているときの基板の表面の形状をモデル化することを目的としています。 クランプ状態の形状は、使用中の基板の性能に直接影響を与える可能性があります。 ユーザーは、非拘束測定と拘束測定のどちらがアプリケーションに最も適切であるかを判断し、それに応じて適切なパラメータを指定する必要があります。 これらの特性を知ることは、製造者と消費者が試料基板の寸法特性が所定の幾何学的要件を満たしているかどうかを判断するのに役立ちます。 このガイドは、スライス、ラッピング、研磨、またはその他の状態のサファイア基板に適しています。 基板仕様についてはSEMI M3を参照してください。 このガイドの計画された研究所間評価の結果が確立されるまでは、テストの当事者が取得できる相関の程度を確立しない限り、商取引でこのガイドを使用することは推奨されません。 1.1 このガイドは、 1.2 このガイドは、直径 25 mm 以上、最小厚さ 100 956;m の基板に適用されます。 このガイドは表面仕上げとは無関係です。 1.3 このガイドで説明されている測定値は、基材の全体的な表面全体に適用される場合もあれば、より小さな局所領域に適用される場合もあります。 1.4 このガイドで説明されている測定値は、表面仕上げの量によって影響されます。 エッジ除外 (つまり、無視されるパーツの周囲の領域)。 除外される量は、この規格を使用して生産者と消費者によって合意される必要があります。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制要件の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F2358-04 発売履歴

• 2004 ASTM F2358-04 サファイア基板の特性測定の標準ガイド