ASTM E827-02
オージェ電子分光法のピークによって元素を識別するための標準的な手法

規格番号

ASTM E827-02

制定年

2002

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM E827-07

最新版

ASTM E827-08

範囲

オージェ分析は、試料表面の最初の数個の原子層（通常は厚さ 0.5 ～ 2.0 nm）の元素組成を決定するために使用されます。 不活性ガスイオンスパッタリングと組み合わせて、数マイクロメートルの深さまでのスパッタ深さプロファイルを決定するために使用されます。 試料は通常、固体の導体、半導体、または絶縁体です。 絶縁体の場合、表面での電荷蓄積を制御するための規定が必要となる場合があります (ガイド E 1523 を参照)。 典型的な用途には、金属または合金基板上の薄膜堆積物または偏析したオーバーレイヤの分析が含まれます。 試験片のトポグラフィーは、滑らかで研磨された試験片から粗い破面までさまざまです。 オージェチャンバーの超高真空環境で蒸発する揮発性種や有機化合物などの電子または X 線ビームによる損傷を受けやすい物質を含む試料のオージェ分析には、ここでは取り上げていない特別な技術が必要になる場合があります。 (ガイド E 983 を参照。 )1.1 この実践では、従来の電子分光計を使用して得られた特定のオージェ スペクトル内の元素を同定するために必要な手順の概要を説明します。 電子エネルギー分布 (直接スペクトル) または電子エネルギー分布の一次導関数として表示されるスペクトルが考慮されます。 1.2 この実践は、試料表面の電子または X 線衝撃によって生成されたオージェ スペクトルに適用され、生成されたスペクトルにも拡張できます。 1.3 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E827-02 発売履歴

• 2008 ASTM E827-08 オージェ電子分光法の基本的な同定法
• 2007 ASTM E827-07 オージェ電子分光計のピークを使用して元素を識別するための標準的な手法
• 2002 ASTM E827-02 オージェ電子分光法のピークによって元素を識別するための標準的な手法
• 1995 ASTM E827-95 オージェ電子分光法のピークによって元素を識別するための標準的な手法