ASTM F1376-92(2005)
ガス分配システムコンポーネントの金属組織分析

規格番号
ASTM F1376-92(2005)
制定年
1992
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
状態
に置き換えられる
ASTM F1376-92(2012)
最新版
ASTM F1376-92(2020)
範囲
このガイドでは、高純度ガス分配システムへの設置を検討しているコンポーネントをテストする手順を定義します。 このガイドを適用すると、この設置の認定を目的としてテストされたコンポーネント間で同等のデータが得られることが期待されます。 このガイドは、半導体産業における高純度ガス供給システムのコンポーネントの製造に使用される金属の元素組成と冶金学的特性を決定する手順を確立します。 ステンレス鋼の組成と冶金は、表面粗さ、表面欠陥の発生率、不動態化、耐食性、溶接など、この用途にとって重要な特性に影響を与えることが予想されます。 1.1 このガイドでは、一般クラスのステンレス鋼の耐食性金属合金について説明します。 主要な合金添加物としてクロム、ニッケル、マンガン、シリコンを含み、場合によってはモリブデンを含み、半導体産業向けの高純度ガス供給システムで使用されるコンポーネントの材料として認定または指定されています。 このガイドは主に、サプライヤーの製品仕様または顧客の購入仕様、あるいはその両方に記載されている、該当する組成および冶金仕様への適合性を判断するためのテストを目的としています。 1.2 このガイドで分析および報告されている元素は次のとおりです。 1.2.1 合金添加物のクロム、ニッケル、およびモリブデン (タイプ 316L のように合金に指定されている場合)、 1.2.2 微量元素および残留物 マンガン、シリコン、銅、コバルト、およびチタンやコロンビウム (ニオブ) などの安定剤 (存在する場合)、1.2.3 炭素、硫黄、リン、1.2.4 窒素および酸素ガス、1.2.5 溶解の一部として行われる可能性のある追加の微量元素の添加1.2.6 これらの元素について利用可能な標準分析および報告技術について説明します。 1.3 分析および報告される冶金学的特性は、介在物含有量、粒子構造、機械的特性、および粒界腐食感受性です。 1.4 制限: 1.4.1 このガイドは、範囲に記載されている一般クラスの耐食性金属合金に限定されます。 1.4.2 このガイドで引用されているテスト方法は、同等またはそれ以上の精度とバイアスが証明されている他の一般に受け入れられている技術の使用を妨げるものではありません。 1.4.3 このガイドに特定の元素または冶金的特性の試験および分析手順を含めることは、その要素または冶金的特性を仕様に組み込むための要件として解釈されるべきではありません。 1.5 SI単位で記載された値は目安となります。 括弧内のインチポンド単位は情報提供のみを目的としています。 1.6 この規格は、その使用に関連する安全上の問題がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F1376-92(2005) 発売履歴

  • 2020 ASTM F1376-92(2020) ガス供給システムコンポーネントの冶金分析のための標準ガイド
  • 1992 ASTM F1376-92(2012) ガス分配システムコンポーネントの金属組織分析のための標準ガイド
  • 1992 ASTM F1376-92(2005) ガス分配システムコンポーネントの金属組織分析
  • 1992 ASTM F1376-92(1999) ガス供給システムコンポーネントの冶金分析のための標準ガイド


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