ASTM F1259M-96
エレクトロマイグレーションによる溶射金属の断線または抵抗の増加を検出するための、平らで線形のテスト構造の設計に関する標準ガイド (メートル単位)

規格番号

ASTM F1259M-96

制定年

1996

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM F1259M-96(2003)

最新版

ASTM F1259M-96(2003)

範囲

1.1 このガイドでは、エレクトロマイグレーションによって故障する相互接続メタライゼーションの故障分布を特徴付けるために、テスト方法 F 1260 で説明されている加速ストレス テストで使用されるテスト構造の推奨設計機能について説明します。 1.2 このガイドは、開回路またはテスト ラインの抵抗のパーセント増加による故障を検出するために使用される、平坦な表面に直線のテスト ラインを備えた構造に限定されます。 1.3 このガイドは、幅がメタライゼーション ライン内の金属粒子の推定平均サイズとほぼ等しいか、それより小さい金属ラインをテストすることを目的としたものではありません。 1.4 このガイドは、メタライゼーション ラインのランダムな欠陥を検出するために使用されるテスト構造を対象としたものではありません。 1.5 テストおよび特性評価が行われるメタライゼーションは、マイクロ電子回路およびデバイスで使用されるメタライゼーションです。

ASTM F1259M-96 発売履歴

• 1996 ASTM F1259M-96(2003) エレクトロマイグレーションによる溶射金属の断線または抵抗の増加を検出するための、平らで線形のテスト構造の設計に関する標準ガイド (メートル単位)
• 1996 ASTM F1259M-96 エレクトロマイグレーションによる溶射金属の断線または抵抗の増加を検出するための、平らで線形のテスト構造の設計に関する標準ガイド (メートル単位)