ASTM E1216-06
テープ抽出法による表面微粒子汚染のサンプリングの標準的な手法

規格番号
ASTM E1216-06
制定年
2006
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
状態
に置き換えられる
ASTM E1216-11
最新版
ASTM E1216-21
範囲
テープリフトは、表面から粒子を除去し、粒子の数とサイズ分布を測定するための迅速かつ簡単な技術を提供します。 統計的に決定されたサンプル サイズと位置を使用することにより、広い領域の表面清浄度レベルを推定できます。 ユーザーはサンプリング計画を定義する必要があります。 サンプリング計画では、ガスの流れ、重力、障害物、およびハードウェアの以前の履歴に対する表面の形状と表面の向きの重要性を考慮する必要があります。 これらの要因は、粒子の降下と表面への粒子の捕捉に影響を与えます。 接合部、凹部、留め具の形状、および粒子数データと領域の対応関係を維持できます。 テープの選択と、ハードウェアの清浄度に対するテープの影響の検証は非常に重要です。 テープ接着剤は、試験対象の表面への接着剤の転写を避けるために十分な凝集力を持っている必要があります。 テープをハードウェアに使用する前に、接着剤の転写の影響を実験室テストで評価する必要があります。 接着剤が転写する可能性があるため、接着剤を除去するための洗浄が必要になる場合があります。 さらに、テープは低ガス放出特性を備えている必要があり、少なくとも、試験方法 E 595 で測定した場合、全質量損失 (TML) が 1.0 % 未満、収集された揮発性凝縮性物質 (CVCM) が 0.1 % 未満という要件を満たしている必要があります。 この方法でどの表面をテストするかを決定する際には注意が必要です。 このテープは、わずかに付着している塗料やコーティングを除去することができます。 光学表面は、表面コーティングが損傷しないことが確認されるまでテストしないでください。 表面仕上げが粗いと、除去効率が低くなります。 最大約 3.20 μm (125 μin.) の表面仕上げがテストされ、満足のいく結果が得られることが判明しました。 この実践は、室温の表面でのみテストされています。 温度の影響の評価は、室温以外の表面でテストを使用する前に実行する必要があります。 微視的粒子計数技術に経験のある担当者のみが、粒子の計数とサイズ測定に使用する必要があります。 1.1 この実践では、5 μm 以上の粒子汚染の存在を判断するために表面をサンプリングする手順をカバーします。 この実践は、表面に感圧テープを貼り付け、続いてテープを剥がして微粒子汚染を除去することから構成されます。 次に、粒子が付着したテープを計数スライドに取り付けます。 粒子の計数と測定は、標準的な技術によって行われます。 1.2 この実践では、粒子の計数とサイズ測定のために表面のサンプリングを実行するために必要な材料と装置について説明します。 1.3 表面清浄度レベル要件への適合に関する部品の合格または不合格の基準は、次のとおりです。 1.4 この実践は、粘着テープの貼り付けによって損傷を受けない表面で使用するためのものです。 以前にテストされていない、または損傷のしやすさが不明な材料の表面にこの方法を使用することはお勧めできません。 一般に、金属、金属メッキ、酸化被膜は損傷しません。 塗装、蒸着、および光学コーティングへの適用は、このテストを実施する前に評価する必要があります。 1.5 この実践では、テープ リフト テストを評価するための次の 3 つの方法が提供されます。 セクション実践 A - この方法では、テープおよびテープ接着剤を透過した光を使用して、テープおよびテープ接着剤を透過した粒子を検出します。 4 ～ 6 実践 B - ベースマイクロに接着した後、テープ接着剤を透過した光を使用する方法です。

ASTM E1216-06 発売履歴

  • 2021 ASTM E1216-21 テープリフト法を使用した微粒子汚染のサンプリングの標準的な手法
  • 2011 ASTM E1216-11(2016) テープ抽出法による表面微粒子汚染のサンプリングの標準的な手法
  • 2011 ASTM E1216-11 粒子状汚染物質のテープ抽出サンプリングの標準操作手順
  • 2006 ASTM E1216-06 テープ抽出法による表面微粒子汚染のサンプリングの標準的な手法
  • 1999 ASTM E1216-99(2005) テープ抽出法による表面微粒子汚染のサンプリングの標準的な手法
  • 1999 ASTM E1216-99 テープ抽出法による表面微粒子汚染のサンプリングの標準的な手法


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