ASTM F459-06
マイクロ電子デバイスのワイヤ接続の引張強度を測定するための標準試験方法

規格番号
ASTM F459-06
制定年
2006
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
状態
に置き換えられる
ASTM F459-13
最新版
ASTM F459-13(2018)
範囲
マイクロ電子デバイスの故障は、多くの場合、相互接続ボンドの故障が原因です。 一般的なタイプの相互接続ボンドはワイヤ ボンドです。 これらの方法は、ワイヤボンドの製造プロセスの制御を維持するのに役立ちます。 これらは、弱く非粘着性のワイヤ ボンドと、十分に強力なワイヤ ボンドを区別するために使用できます。 その手法は破壊的です。 これらのテスト方法は、プロセス管理、購入仕様、歩留まりや信頼性の向上をサポートする研究のためのオンラインでの使用に適しています。 ワイヤボンドの引張強度の定量的比較には、審判法を使用する必要があります。 1.1 これらの試験方法は、一連のワイヤボンドの引張強度を決定するための試験をカバーしています。 参照メソッドとして使用するためにメソッドを変更するための手順が提供されます。 この方法は、直径が０．０００７から０．００３インチ（１８から７６μｍ）のワイヤで作られたワイヤボンドに使用することができる。 注 1 現時点での一般的な使用法では、「ワイヤ ボンド」という用語は相互接続全体 (溶接部と介在するワイヤ スパンの両方) を含むと考えられています。 1.2 これらの試験方法は、ワイヤ ボンドのループ高さが十分に大きい場合にのみ使用できます。 1.3 これらの方法の精度は、アルミニウムの超音波ウェッジ結合について評価されています。 ただし、アルミニウム ウェッジ ボンドは、ワイヤ ボンド タイプの中でも製造上のばらつき (ボンド変形など) の影響を最も受けやすいため、これらの方法はアルミニウム ボール ボンドと金ウェッジまたはボール ボンドにも使用できます。 1.4 これらの方法は破壊的です。 これらは、プロセス開発での使用、または適切なサンプリング計画を使用してプロセス管理または品質保証に使用するのに適しています。 1.5 非破壊手順は実践 F 458.1.6 に記載されています。 インチポンド単位で記載された値は標準とみなされます。 。 括弧内に示されている値は情報提供のみを目的としています。 1.7 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F459-06 発売履歴

  • 2018 ASTM F459-13(2018) マイクロエレクトロニクスワイヤボンドの引張強度を測定するための標準試験方法
  • 2013 ASTM F459-13 マイクロエレクトロニクスワイヤボンドの引張強度を測定するための標準試験方法
  • 2006 ASTM F459-06 マイクロ電子デバイスのワイヤ接続の引張強度を測定するための標準試験方法
  • 2001 ASTM F459-84(2001) マイクロエレクトロニクスワイヤボンドの引張強度を測定するための標準試験方法
  • 2001 ASTM F459-84(1995)e1 マイクロエレクトロニクスワイヤボンドの引張強度を測定するための標準試験方法


© 著作権 2024