ASTM F1188-00
赤外線吸収によるシリコン中の格子間原子状酸素含有量の測定のための標準試験方法

規格番号

ASTM F1188-00

制定年

2000

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM F1188-02

最新版

ASTM F1188-02

範囲

1.1 この試験方法は、赤外分光法による単結晶シリコンの格子間酸素含有量の測定を対象としています。 この試験方法では、酸素を含まない参照試料と、NIST SRM 2551 を含む一連の校正標準の使用が必要です。 コンピュータ化された分光光度計の使用は許可されていますが、必須ではありません。 1.2 この試験方法で測定できる酸素濃度の有効範囲は、1 X 1016 原子/cm3 からシリコンに可溶な格子間酸素の最大量までです。 1.3 この試験方法を使用して得られた酸素濃度は、格子間酸素濃度とシリコン内の格子間酸素に関連する 1107 cm-1 バンドの吸収係数との間に線形関係があると仮定します。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の問題がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F1188-00 規範的参照

• ASTM E1 ASTM 温度計の標準仕様
• ASTM E131 分子分光法に関連する用語と記号の標準定義
• ASTM E932 分散型赤外分光計の性能を説明および測定するための標準的な手法

ASTM F1188-00 発売履歴

• 1970 ASTM F1188-02
• 2000 ASTM F1188-00 赤外線吸収によるシリコン中の格子間原子状酸素含有量の測定のための標準試験方法