ASTM F1261M-96(2003)
薄膜金属の線形平均電気幅を決定するための標準試験方法

規格番号

ASTM F1261M-96(2003)

制定年

1996

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

撤回 2009-05

最新版

ASTM F1261M-96(2003)

範囲

1.1 この試験方法は、細い薄膜メタライゼーション ラインの平均電気幅を決定するために設計されています。 1.2 この試験方法は、線の幅がマイクロメートルからマイクロメートルからマイクロメートルまでの範囲にあるマイクロ電子回路で使用されるような薄いメタライゼーション ラインを測定することを目的としています。 1.3 このテスト方法で使用されるテスト構造は、ウェハの一部またはウェハからの一部のまま、またはパッケージにボンディングされパッケージ端子によって電気的にアクセス可能なテストチップの一部として測定できます。 1.4 この規格使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F1261M-96(2003) 規範的参照

• ASTM E178 遠隔観測を実施するための標準作業手順

ASTM F1261M-96(2003) 発売履歴

• 1996 ASTM F1261M-96(2003) 薄膜金属の線形平均電気幅を決定するための標準試験方法
• 1996 ASTM F1261M-96 薄膜金属の線形平均電気幅を決定するための標準試験方法